• 분자식 : HNO3
• 성상 : 액상
• CAS No : 7697-37-2
• HS Code : 2808-00-1000
질산은 반도체 공정에서 널리 사용됩니다. 프론트-엔드 공정중 중요부분 식각, 금속배선 연마, compounds for etching various heavy metals, defect etching 뿐만 아니라 태양광 패널 세정 등에 유용합니다. ㈜은진캐미컬은 최신식 정제설비로 고순도 질산을 제조하고 있습니다. 당사는 수년간 축적해온 정제 노하우를 통해 불순물 (Zn, Pb, Ni, Cu, Fe, Mg, Al, Ca)의 함량을 대폭적으로 낮춘 (ppb) 고순도의 정제질산을 제공합니다. 지속적인 제품 개발로 향후 금속 불순물을 ppt까지 낮출 계획입니다.
• 무색액체, 에테르/알코올에 가용(폭발성)
• 황색으로 특이한 냄새를 갖는 부식성이 있는 액체로 공기에 접하면 자극성의 흰 연기를 내며 -40°C로 냉각시키면 응결 결정함
• 금, 백금을 제외한 거의 모든 금속을 부식시키며 질산염을 석출함
• 햇빛에 장시간 노출 시 갈변현상
• 반도체 장비 세정
• 반도체 식각액
• 실리콘 웨이퍼 세정
• 태양광 패널 세정
| Items | Extra Pure |
|---|---|
| Appearance | Transparent solution |
| Assay (%) | 65±0.5 Wt |
| Chlorine (ppb) | Max 50 |
| SO4 (ppb) | Max 100 |
| Si (ppb) | Max 10 |
| PO4 (ppb) | Max 50 |
| Residue (ppb) | Max 1000 |
| Na (ppb) | Max 10 |
| Mg (ppb) | Max 10 |
| Al (ppb) | Max 5 |
| K (ppb) | Max 10 |
| Ca (ppb) | Max 10 |
| Cr (ppb) | Max 5 |
| Mn (ppb) | Max 2 |
| Fe (ppb) | Max 10 |
| Nl (ppb) | Max 2 |
| Cu (ppb) | Max 1 |
| Zn (ppb) | Max 5 |
| Pb (ppb) | Max 3 |
| Ag (ppb) | Max 1 |
| As (ppb) | Max 1 |
| Ba (ppb) | Max 1 |
| Cd (ppb) | Max 1 |
| Co (ppb) | Max 1 |
| Ga (ppb) | Max 1 |
| Ge (ppb) | Max 1 |
| Li (ppb) | Max 1 |
| Sn (ppb) | Max 5 |
| Sr (ppb) | Max 1 |
| Au (ppb) | Max 1 |
| Sb (ppb) | Max 10 |
| B (ppb) | Max 1 |
| Packing Unit | CAN |
| DRUM | |
| BULK |
